Análisis de obleas (plaquetas) electrónicas semiconductoras usadas en dispositivos de alta frecuencia
Los semiconductores compuestos son capaces de procesar a alta velocidad y con alta tensión; esto los hace idóneos para aplicaciones 5G. La detección de defectos en estos dispositivos es crucial, ya que se trata de componentes sumamente importantes para dispositivos electrónicos.
Procesamiento de imágenes flexible para una medición rápida de obleas
El microscopio digital DSX1000 permite alternar las observaciones, como el contraste de interferencia diferencial, con tan solo tocar un botón. Además, el zoom óptico del microscopio ejecuta un procesamiento de imágenes macro a micro para no perder de vista ningún defecto.
Desafíos en la medición de obleas semiconductoras
La inspección de defectos en obleas suele llevarse a cabo con microscopios metalúrgicos. Existe un problema común que es perder de vista un defecto cuando se cambia a un objetivo de magnificación superior para obtener una imagen ampliada.
Observación DIC para defectos de obleas (plaquetas) electrónicas:
Un método de observación adecuado para visualizar irregularidades, materias extrañas y rayaduras a escala nanoscópica.
Microscopio digital DSX1000
Observación de residuos remanentes en materiales de semiconductores
Los materiales fotorresistentes desempeñan un papel importante en el proceso de grabado para la formación de circuitos. El proceso litográfico de formación del circuito consiste en aplicar, ocultar, exponer y retirar el material de resistencia. Los residuos remanentes tras la retirada pueden suponer un problema.
Detección sencilla de residuos remanentes
El microscopio vertical metalúrgico BX53M permite la observación de fluorescencia para ofrecer una solución de detección de residuos orgánicos remanentes con propiedades emisoras de luz. Podrá distinguir los residuos remanentes de otros elementos contaminantes por las diferencias en sus características de emisión.
Challenge of Optical Microscope Inspection
Los residuos remanentes pueden pasarse por alto aunque se utilice un microscopio óptico. Es importante elegir un microscopio que cuente con las funciones adecuadas para esta aplicación.
Observación MIX (fluorescencia y campo oscuro):
Observación del estado de la moldura en guías de ondas de comunicación ópticas
Los fabricantes deben validar el estado de la moldura de las guías de ondas ópticas, que son componentes usados en las comunicaciones ópticas. Dado que la guía de onda óptica está rodeada por cristal, no es posible observar usando la iluminación episcópica (luz reflejada) de un microscopio. La iluminación de transmisión es fundamental para esta aplicación.
Desafíos de inspección usando un microscopio digital o un microscopio de medición
Las guías de ondas ópticas pueden observarse usando un microscopio de medición de luz transmitida o un microscopio digital tradicional, pero la imagen de observación será borrosa o poco clara.
Observación clara del estado de la moldura
Si se combina con la cámara microscópica digital DP74, el alto rendimiento óptico y la función de contraste de interferencia diferencial del microscopio vertical metalúrgico BX53M le permiten observar de forma clara y capturar imágenes de alta resolución del estado de la moldura de una guía de onda óptica.
